Підрозділ Intel Foundry оголосив про завершення встановлення на своїй фабриці найсучаснішої у світі машини для EUV-літографії з високою числовою апертурою (High-NA EUV) — сканера TWINSCAN EXE:5200B від ASML.

Ця установка є критично важливою для переходу Intel на техпроцес 14A, знаменуючи собою перший у галузі перехід від літографії з низькою числовою апертурою до високої. Нова машина, яка вже пройшла приймальні випробування, забезпечує високу точність суміщення шарів до 0,7 нанометра і, як очікується, зможе досягти продуктивності понад 200 пластин на годину.

Серійне виробництво за техпроцесом 14A, у розробці якого з самого початку беруть участь партнери Intel, планується розпочати у 2027 році.

💻 Підписатись