Китай представив свій перший електронно-променевий літографічний апарат Xizhi, розроблений Чжецзянським університетом. Він має зменшити залежність країни від іноземних технологій, доступ до яких обмежений експортним контролем США та Нідерландів.

Наразі китайські компанії можуть купувати лише застарілі DUV-верстати, тоді як передові EUV-системи від ASML для виробництва чипів менше ніж 7 нм їм недоступні.

Xizhi використовує електронні пучки для формування схем на кремнієвих пластинах, створюючи лінії завширшки 8 нм з точністю позиціювання 0,6 нм, що у принципі відповідає сучасним вимогам. Хоча апарат не призначений для масового виробництва, він ідеально підходить для досліджень та тестових етапів.

За даними Hangzhou Daily, використання апарату вже обговорюють із науковими установами, а його нижча ціна робить його привабливим на внутрішньому ринку.

💻 Підписатись